可变电容加速度传感器：基于电容变化原理的非接触式惯性传感器

更新时间：2026-01-20

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　　可变电容加速度传感器是基于电容变化原理的非接触式惯性传感器，通过检测质量块位移引起的电容极板间距 / 面积变化，将加速度信号转换为电信号。它具有精度高、功耗低、抗干扰能力强等特点，广泛应用于工业监测、汽车电子、航空航天等领域。

　　它基于平行板电容器公式(C = εA/d)。当传感器感受到加速度时，内部的质量块会因惯性产生位移，带动可动电极(通常是弹性膜片)移动，从而改变与固定电极之间的间距(d)或重叠面积(A)。这个微小的物理变化被转换为电容值的变化，再通过精密的ASIC电路检测出来，输出与加速度成比例的电压信号。

　　结构特点

　　差动电容结构：采用固定电极与弹性膜片可动电极构成的差动电容，提高灵敏度和线性度。

　　MEMS技术制造：基于微机电系统(MEMS)技术，实现传感器的小型化、低功耗和集成化。

　　集成温度传感器：部分型号集成温度传感器，用于补偿温度对测量结果的影响。

　　高精度：电容变化与加速度成正比，测量结果准确可靠。

　　低功耗：MEMS技术实现传感器的小型化和低功耗设计。

　　可靠性强：无机械运动部件(如压电式中的晶体)，减少磨损和故障风险。

　　环境适应性好：受温度影响较小，适合各种恶劣环境。

　　使用注意事项

　　安装方向：传感器的敏感轴需与被测加速度方向一致，否则会产生测量误差。

　　温度补偿：高精度应用需选择内置温度补偿的型号，或外接补偿电路。

　　抗干扰处理：信号调理电路需远离强电磁场，电源端加滤波电容，减少噪声干扰。

　　定期校准：长期使用后需校准零点和灵敏度，确保测量精度。